ケミカライザー
日経産業新聞 2004.5.24 掲載

ニュースなクラボウ。  シリーズ22 エレクトロニクス事業部
 
ピッタリの濃さで洗われて、
半導体ウェハーも大満足。
半導体洗浄用の薬液濃度を近赤外線で測定。
適正濃度で、洗浄、エッチング効果も向上します。
半導体の製造でもっとも重要な工程が半導体ウエハーの洗浄やエッチングです。クラボウは、その洗浄用各種薬液の濃度測定装置を先進の光(近赤外線)技術で、約15年前に完成。これまでに1000台以上を国内の半導体業界に納入しているリーディングメーカーです。近赤外線を薬液ごとのフィルターを通して薬液に投射、波長の変化で濃度を正確に測定。ムラなく安定した濃度で洗浄・エッチング効果や歩留まりが向上します。薬液交換の適正判断で薬液寿命が延長し、廃液量の減少にも貢献。最近では、液晶ディスプレイ業界にも活躍の範囲が広がっています。


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