ファイナルロック
日経産業新聞 2004.12.20 掲載

ニュースなクラボウ。  シリーズ29 化成品事業部
 
タフなフッ素で、緊密ワーク。
だから、漏れない、溜まらない。
半導体製造プロセスの洗浄薬液ラインなど、
過酷な環境に負けないフッ素樹脂製継ぎ手。
半導体製造でもっとも重要なウエハーのエッチングと洗浄。加工プロセスごとに各種の化学薬品が高温・高圧で使われます。その血管ともいえるラインチューブの要所を支えているのが、クラボウのフッ素樹脂製継ぎ手。優れた耐薬品性、耐熱性に加えて、高い加工性・施工性も自慢です。専用冶具で簡単にミスやバラつきなく、しかも加熱せずにチューブを曲げ返せる特許構造。液漏れはもちろん、液溜まりが少なく、システムのクリーン度向上に貢献。他にもフィルターやパイプなどクラボウのフッ素樹脂製部品は、半導体・液晶製造装置の厳しさを増す要求にも信頼性でお答えしています。


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