基板外観検査装置
日経産業新聞 2007.5.25 掲載

ニュースなクラボウ。  シリーズ49 エレクトロニクス事業部
 
フルカラーだから、
見にくいキズも逃さない。
基板の両面をフルカラーで高精度検査。
シンプル操作で、フリー搬送を実現。
クラボウが得意とするフルカラー画像処理技術が、従来方式では困難だった指向性のあるキズ・汚れ・パターン上の打痕などの欠陥を検出します。顕微鏡や目視確認同様の高精細カラー画像を画面上で確認しながらのシンプルなオペレーション。独自アルゴリズムにより良品基板のカラーデータを自動作成し、虚報を抑えた、安定検査を実現します。搬送装置も自社開発。基板に優しいベルヌーイチャックを採用し、非接触のフリー搬送・両面検査が可能です。さまざまなタイプをラインナップし、カスタマイズにも対応。検査の高速化、高精度化で、基板の品質向上に大きく貢献します。
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