表面形状検査システム
日経産業新聞掲載

ニュースなクラボウ。  シリーズ54 エレクトロニクス事業部
 
10μmの微小なキズも、
瞬時に発見。
光学フィルムのうねり、凹凸、キズを
高速高精度で自動検出。
LCDやPDP、有機ELに欠かせない光学フィルムの製造工程で発生する微小なうねりや凹凸、キズは、目視での検査が一般的。しかし、見落としなどのリスクが高く、自動化ニーズが高まっています。クラボウの表面形状検査システムは、検査するものの表面に縞パターンを照射して、位相シフトを行い、その表面をCCDカメラで撮影し、うねりや凹凸、キズを捉えることができます。検査例として150mm角のフィルム上の径50μm深さ10μmの凹凸を約3秒で検査できます。通常の装置では困難な表面光沢のある素材にも対応。ガラス基板、シリコンウェハー、太陽電池などへの展開も可能です。


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