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スクリーンマスク検査装置
SM750 |
 特長
 仕様 |
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メタルマスクやスクリーンマスクの
異物欠陥、パターンずれ、ピンホール、レジスト残り検査に最適！
反射と透過同時照射により得られた画像データを自動処理し､異物やキズなどの欠陥を検出する検査システムです。オプション機能により顕微鏡システムを起動させ、大きな欠陥より順次表示・記録するレビュー機能を搭載することが可能です。また、ガーバデータとの比較検査も可能です。 |
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微細欠陥検査装置（SM750）
レビュー機能（オプション）搭載機 |
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特長 |
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●ガーバーデータ対応
ガーバーデータを基準として撮影した画像を比較し、欠陥を検出します
●感光性フィルムやガラスにも対応
落射照明および透過照明を採用し、同時に検査することができます。
●レビュー機能（オプション）
検出後に欠陥面積の大きい順で、顕微鏡によるレビューを行ったり、レビュー時に修正対象とする欠陥位置をマークして、プリントアウトまたはCSVファイル出力することができます。
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欠陥検出例（60μ異物） |
レビュー欠陥記録リスト例 |
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