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関連商品

シリーズ一覧
用途一覧
業界別使用例
【液体濃度計】
■ケミカライザーシリーズ
超高性能型AceU(KP)
標準型Pro-2(KIS)
ハイブリッド型(HB)
配管直結型1ch(TM)
配管直結型4ch(TM)
防爆型(PF)
ワゴン型ケミカライザーU
多槽濃度測定・制御システム
C-WORKS
【液体濃度計】
■ウォ−ターライザーシリーズ
廉価・耐環境型濃度計
Waterlyzer(RD)
多槽濃度測定・制御システム
W-WORKSS
専用データ処理部
KE-50

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赤外線 応用計測装置
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インライン赤外線液体成分濃度計(ワゴンタイプ)

ケミカライザー U

特長  仕様

ケミカライザーの精度をそのままに様々な場所での測定が可能なワゴン型です。

ケミカライザーUケミカライザー、パネルコンピュータ、ポンプ、バルブといった測定に必要な部品をラック内にまとめました。
様々な場所へ移動し、チューブを測定対象に差し込むだけで測定することができます。
半導体処理工程、液晶パネル製造工程などの初期の条件出し、現状の濃度確認等に最適です。

 
<保守終了ロットのお知らせ>
対象ロット : 製造番号MI-001号機からMI-089号機
  用途例
  • 半導体製造工程における洗浄プロセスでのSC-1,SC-2、SPMなどのウェハー洗浄液濃度
  • 半導体製造工程におけるエッチングプロセスでのフッ酸、燐酸、HPM、BHFなどの薬液濃度
  • ウェハー製造工程におけるアルカリ、活性剤などのエッチング液濃度
  • 半導体・液晶パネル製造工程における燐硝酸酢酸、フッ硝酸酢酸等のエッチング液濃度
  • 液晶パネル製造工程におけるMEA、BDG、DMSO、等の剥離液濃度
  • その他各種酸、アルカリ、過酸化水素、有機溶剤、水分などの濃度モニター
  • 燃料電池(ダイレクトメタノール型)のメタノール濃度測定
  • 各種洗浄、殺菌用の酸、アルカリ、過酸化水素の濃度
  • 有機剥離液中の水分、成分濃度
  • プリント基板剥離液濃度
  • 金属酸化用過酸化水素濃度
  • 有機剥離液の劣化度測定
  • IPA、有機剥離液中の水分、成分濃度、レジスト濃度
 
  設置例

 

ケミカライザーU設置例

 
   


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