インライン赤外線液体成分濃度計(ワゴンタイプ)

ケミカライザー、パネルコンピュータ、ポンプ、バルブといった測定に必要な部品をラック内にまとめました。
様々な場所へ移動し、チューブを測定対象に差し込むだけで測定することができます。
半導体処理工程、液晶パネル製造工程などの初期の条件出し、現状の濃度確認等に最適です。

• 半導体製造工程における洗浄プロセスでのSC-1,SC-2、SPMなどのウェハー洗浄液濃度
• 半導体製造工程におけるエッチングプロセスでのフッ酸、燐酸、ＨＰＭ、ＢＨＦなどの薬液濃度
• ウェハー製造工程におけるアルカリ、活性剤などのエッチング液濃度
• 半導体・液晶パネル製造工程における燐硝酸酢酸、フッ硝酸酢酸等のエッチング液濃度
• 液晶パネル製造工程におけるMEA、BDG、DMSO、等の剥離液濃度
• その他各種酸、アルカリ、過酸化水素、有機溶剤、水分などの濃度モニター
• 燃料電池（ダイレクトメタノール型）のメタノール濃度測定
• 各種洗浄、殺菌用の酸、アルカリ、過酸化水素の濃度
• 有機剥離液中の水分、成分濃度
• プリント基板剥離液濃度
• 金属酸化用過酸化水素濃度
• 有機剥離液の劣化度測定
• IPA、有機剥離液中の水分、成分濃度、レジスト濃度