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インライン赤外線液体成分濃度計(ハイブリッドタイプ)
ケミカライザー HYBRID HB-20-A |
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用途例 |
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- 半導体製造工程における洗浄プロセスでの希薄アンモニア過水、塩酸過水、フッ酸過水等の濃度測定
- 半導体・ウェハー製造工程におけるエッチングプロセスでの混酸濃度及びシリコン濃度測定
- ウェハー製造工程におけるアルカリ、活性剤などのエッチング液濃度
- ウェハー製造工程におけるHFオゾン、硫酸オゾン濃度測定
- 液晶パネル製造工程の銅エッチング工程における銅、過酸化水素、酸の濃度測定
- 太陽電池製造時の洗浄プロセスでのフッ硝酸シリコン濃度測定
- 過酸化水素による銅やモリブデンなど金属エッチング工程における、金属イオン、過酸化水素濃度測定
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