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関連商品

シリーズ一覧
用途一覧
業界別使用例
【液体濃度計】
■ケミカライザーシリーズ
超高性能型AceU(KP)
標準型Pro-2(KIS)
ハイブリッド型(HB)
配管直結型1ch(TM)
配管直結型4ch(TM)
防爆型(PF)
ワゴン型ケミカライザーU
多槽濃度測定・制御システム
C-WORKS
【液体濃度計】
■ウォ−ターライザーシリーズ
廉価・耐環境型濃度計
Waterlyzer(RD)
多槽濃度測定・制御システム
W-WORKSS
専用データ処理部
KE-50

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赤外線 応用計測装置
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インライン赤外線液体成分濃度計(ハイブリッドタイプ)

ケミカライザー HYBRID HB-20-A

特長  仕様

ケミカライザーの精度をそのままに赤外線プラス可視光(紫外光)での測定を可能にしたハイブリッドタイプの濃度計です。

ハイブリッドタイプHB-20従来の赤外線濃度計ケミカライザーに可視光、あるいは紫外光を用いた計測をプラスしました。
ケミカライザーACEUの高精度測定を維持しながら、幅広い対象薬液への対応が可能になりました。

 
  用途例
  • 半導体製造工程における洗浄プロセスでの希薄アンモニア過水、塩酸過水、フッ酸過水等の濃度測定
  • 半導体・ウェハー製造工程におけるエッチングプロセスでの混酸濃度及びシリコン濃度測定
  • ウェハー製造工程におけるアルカリ、活性剤などのエッチング液濃度
  • ウェハー製造工程におけるHFオゾン、硫酸オゾン濃度測定
  • 液晶パネル製造工程の銅エッチング工程における銅、過酸化水素、酸の濃度測定
  • 太陽電池製造時の洗浄プロセスでのフッ硝酸シリコン濃度測定
  • 過酸化水素による銅やモリブデンなど金属エッチング工程における、金属イオン、過酸化水素濃度測定
 
 
 
   


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