インライン近赤外線液体成分濃度計(標準タイプ)

赤外線液体成分濃度計のスタンダードタイプです。クラボウ独自の技術で高精度を実現しました。
温度変化、濁り、泡などの外乱要因に強い測定方式を採用しています。
データ処理部と測定部一体型でありながら高機能、外部制御が容易です。
小型ながらキーボード、表示機能もあります。

• 半導体製造工程における洗浄プロセスでのSC-1,SC-2、SPMなどの薬液管理
• 半導体製造工程におけるエッチングプロセスでのフッ酸、燐酸、ＨＰＭなどの薬液管理
• ウェハー製造工程におけるアルカリ、活性剤などの薬液管理
• 液晶パネル製造工程におけるMEA、BDG、DMSO、等の剥離液、エッチング液濃度測定
• 太陽電池製造時の洗浄プロセスでの薬液管理
• 太陽電池製造時のエッチングプロセスでの薬液管理
• 燃料電池（ダイレクトメタノール型）のメタノール濃度測定
• 各種洗浄、殺菌用の酸、アルカリ、過酸化水素の濃度
• 有機剥離液中の水分、成分濃度
• プリント基板剥離液濃度
• 金属酸化用過酸化水素濃度
• 有機剥離液の劣化度測定
• IPA、有機剥離液中の水分、成分濃度、レジスト濃度