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関連商品

シリーズ一覧
用途一覧
業界別使用例
【液体濃度計】
■ケミカライザーシリーズ
超高性能型AceU(KP)
標準型Pro-2(KIS)
ハイブリッド型(HB)
配管直結型1ch(TM)
配管直結型4ch(TM)
防爆型(PF)
ワゴン型ケミカライザーU
多槽濃度測定・制御システム
C-WORKS
【液体濃度計】
■ウォ−ターライザーシリーズ
廉価・耐環境型濃度計
Waterlyzer(RD)
多槽濃度測定・制御システム
W-WORKSS
専用データ処理部
KE-50

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赤外線 応用計測装置
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インライン近赤外線液体成分濃度計(標準タイプ)

ケミカライザー Pro-2 KIS-20

特長  仕様

測定部とデータ処理部を一体化。性能はそのままに、コンパクト化を実現しました。

ケミカライザーPro-2赤外線液体成分濃度計のスタンダードタイプです。クラボウ独自の技術で高精度を実現しました。
温度変化、濁り、泡などの外乱要因に強い測定方式を採用しています。
データ処理部と測定部一体型でありながら高機能、外部制御が容易です。
小型ながらキーボード、表示機能もあります。

 
  用途例
  • 半導体製造工程における洗浄プロセスでのSC-1,SC-2、SPMなどの薬液管理
  • 半導体製造工程におけるエッチングプロセスでのフッ酸、燐酸、HPMなどの薬液管理
  • ウェハー製造工程におけるアルカリ、活性剤などの薬液管理
  • 液晶パネル製造工程におけるMEA、BDG、DMSO、等の剥離液、エッチング液濃度測定
  • 太陽電池製造時の洗浄プロセスでの薬液管理
  • 太陽電池製造時のエッチングプロセスでの薬液管理
  • 燃料電池(ダイレクトメタノール型)のメタノール濃度測定
  • 各種洗浄、殺菌用の酸、アルカリ、過酸化水素の濃度
  • 有機剥離液中の水分、成分濃度
  • プリント基板剥離液濃度
  • 金属酸化用過酸化水素濃度
  • 有機剥離液の劣化度測定
  • IPA、有機剥離液中の水分、成分濃度、レジスト濃度
 
  設置例

 

Pro-2設置例

 
 
 
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  型式コード一覧
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●ケミカライザー Pro-2シリーズでは対象薬液によって型式コードを設定しております。

型式コード 対象薬液
KIS-21 NH4OH/H2O2
KIS-22 HF
KIS-23 H2SO4/H2O2
KIS-24 HF/H2O2
KIS-25 HCl/H2O2
KIS-26 KOH/H2O2
KIS-27 H3PO4
KIS-28 HF/HCl
KIS-29 HCl/FeCl3
KIS-20 上記薬液以外にも対応しておりますので、お気軽にお問合せください。


知識の部屋 赤外線の話





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