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関連商品

シリーズ一覧
用途一覧
業界別使用例
【液体濃度計】
■ケミカライザーシリーズ
超高性能型AceU(KP)
標準型Pro-2(KIS)
ハイブリッド型(HB)
配管直結型1ch(TM)
配管直結型4ch(TM)
防爆型(PF)
ワゴン型ケミカライザーU
多槽濃度測定・制御システム
C-WORKS
【液体濃度計】
■ウォ−ターライザーシリーズ
廉価・耐環境型濃度計
Waterlyzer(RD)
多槽濃度測定・制御システム
W-WORKSS
専用データ処理部
KE-50

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赤外線 応用計測装置
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インライン近赤外線液体成分濃度計(超高性能型)

ケミカライザー AceU KP-20-A-R

特長  仕様

ChemicAlyzerシリーズの最高峰機種です。

ケミカライザーACEU数々の新技術を盛り込み、当社従来機比で1オーダーの精度アップを実現しております。
ワンランク上の測定精度を求められる場合に最適です。
測定誤差要因因子を極力排除し、高分解能、高安定性を実現しております。
サンプリング部を内蔵し、かつ現場ラインとの接続が容易なインライン型です。
RoHS指令対応製品です。

 
  用途例
  • 半導体製造工程における洗浄プロセスでのSC-1,SC-2、SPMなどの薬液管理
  • 半導体製造工程におけるエッチングプロセスでのフッ酸、燐酸、HPM、BHFなどの薬液管理
  • 半導体・液晶パネル製造工程におけるエッチング用燐硝酸酢酸、フッ酸硝酸酢酸濃度
  • ウェハー製造工程におけるアルカリ、活性剤などの薬液管理
  • 液晶パネル製造工程におけるMEA、BDG、DMSO、等の剥離液、エッチング液濃度測定
  • 太陽電池製造時の洗浄プロセスでの薬液管理
  • 太陽電池製造時のエッチングプロセスでのフッ硝酸等薬液管理
  • 燃料電池(ダイレクトメタノール型)のメタノール濃度測定
  • 各種洗浄、殺菌用の酸、アルカリ、過酸化水素の濃度
  • 液晶パネル製造工程における有機剥離液中の水分、成分濃度、レジスト濃度
  • プリント基板剥離液濃度
  • 金属酸化用過酸化水素濃度
  • 有機剥離液の劣化度測定
  • 半導体・液晶パネル製造工程におけるエッチング用燐硝酸酢酸、フッ酸硝酸酢酸濃度
  • 日本酒、食用酢のアルコール、酢酸、糖濃度
  • DMAC、NMPなど紡糸、製膜原料液濃度
  • 液晶パネル製造工程の銅エッチング工程における銅、過酸化水素、酸の濃度測定
  • 各種洗浄、殺菌用の酸、アルカリ、過酸化水素の濃度
  • IPA中微量水分、有機剥離液中の微量水分、成分濃度
 
  設置例

測定原理図


測定原理図

 
 
  型式コード一覧
●ケミカライザー AceUシリーズでは対象薬液によって型式コードを設定しております。
型式コード 対象薬液
KP-21-A-R NH4OH/H2O2
KP-22-A-R HF
KP-23-A-R H2SO4/H2O2
KP-24-A-R HF/H2O2
KP-25-A-R HCl/H2O2
KP-26-A-R KOH/H2O2
KP-27-A-R H3PO4
KP-28-A-R HF/HCl
KP-29-A-R HCl/FeCl3
KP-2B-A-R BHF(HF/NH4F)
KP-20-A-R 上記薬液以外にも対応しておりますので、お気軽にお問合せください。
 


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