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【液体濃度計】
■ケミカライザーシリーズ
超高性能型AceU(KP)
標準型Pro-2(KIS)
ハイブリッド型(HB)
配管直結型1ch(TM)
配管直結型4ch(TM)
防爆型(PF)
ワゴン型ケミカライザーU
多槽濃度測定・制御システム
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【液体濃度計】
■ウォ−ターライザーシリーズ
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多槽濃度測定・制御システム
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赤外線 応用計測装置
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液体成分濃度計

Waterlyzer RDシリーズ

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項目 Waterlyzer RDシリーズ
20 20D 20F 10 30 WORKS
LCDガラス基板洗浄用強酸の濃度          
太陽電池製造プロセスでの洗浄・エッチング薬液管理        
各種洗浄、殺菌用の酸、アルカリ、過酸化水素の濃度        
薬品製造工程、排ガス処理工程で発生する塩酸、硝酸など副生成物の濃度        
有機剥離液中の水分、成分濃度      
マランゴニ効果を利用したウェハ乾燥機排水中の微量IPA測定、排水管理          
ウェハ洗浄工程の希薄塩酸、アルカリ濃度測定        
IPAベーパドライアのIPA中、有機剥離液中、および有機溶剤中のppmオーダーの水分測定          
工場排水中の微量有機溶剤、過酸化水素濃度測定          
ppmオーダーの金属イオン濃度測定          
排ガス処理工程で発生する硝酸、塩酸中の不純物有機物濃度の測定          
半導体薬液中のオゾン濃度          
SC-1,HF,BTAなど半導体洗浄用薬液、スラリーの濃度測定        
工場排水の色・濁度測定          
鉱物の精製工程で生成される強酸中の不純物の濃度測定        
カラーフィルタ等の染色液の色管理、レジスト濃度測定          
IPA中微量水分、有機剥離液中の微量水分、成分濃度          
プリント基板剥離液濃度          
金属酸化用過酸化水素濃度          
有機剥離液の劣化度測定          
ウェハ洗浄液、エッチング液の成分濃度          
IPA、有機剥離液中の水分、成分濃度、レジスト濃度          
エッチング用燐硝酸酢酸、フッ酸硝酸酢酸濃度          
食用油、樹脂の酸価、ヨウ素価          
お酢製造工程のアルコール、酸度          

項目 20 20D 20F 10 30 WORKS
半導体洗浄装置内等の狭スペースへの設置          
高温・高圧の循環ラインへの直接設置(セル挿入)          
SC-1,SC-2,SPM,HF等1台で複数薬液のオンライン濃度測定          
多槽薬液の自動濃度測定、制御          


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