半導体・液晶業界向け液体成分濃度計：クラボウ／ケミカライザー用途一覧

項目	AceII	Pro-2	H　B	T　M	P　F	CII ワゴン	WORKSS
太陽電池製造プロセスでの洗浄・エッチング薬液管理	○	○
各種洗浄、殺菌用の酸、アルカリ、過酸化水素の濃度	○	○
薬品製造工程、排ガス処理工程で発生する塩酸、硝酸など副生成物の濃度	○	○
有機剥離液中の水分、成分濃度	○	○			○
ウェハ洗浄工程の希薄塩酸、アルカリ濃度測定	○
工場排水中の微量有機溶剤、過酸化水素濃度測定			○
ppmオーダーの金属イオン濃度測定			○
排ガス処理工程で発生する硝酸、塩酸中の不純物有機物濃度の測定			○
半導体薬液中のオゾン濃度			○
IPA中微量水分、有機剥離液中の微量水分、成分濃度	○				○
有機剥離液中のレジスト濃度					○
プリント基板剥離液濃度	○	○		○
金属酸化用過酸化水素濃度	○	○		○
有機剥離液の劣化度測定	○	○		△	○
ウェハ洗浄液、エッチング液の成分濃度	○	○		○
IPA、有機剥離液中の水分、成分濃度、レジスト濃度			○
希薄HF、アルコール、酸濃度	○
紡糸、製膜原料液濃度	○
エッチング用燐硝酸酢酸、フッ酸硝酸酢酸濃度	○		○
食用油、樹脂の酸価、ヨウ素価	○		○
日本酒のアルコール、糖濃度	○
半導体洗浄装置内等の狭スペースへの設置				△
高温・高圧の循環ラインへの直接設置（セル挿入型）				○
防爆区域内での濃度測定					○
SC-1、SC-2、SPM、HFなど１台で複数薬液のオフライン濃度測定						○
多槽薬液の自動濃度測定、制御							○
高温・高圧の循環ラインへの直接設（ＰＦＡチューブ上からのダイレクト測定）				○
SC-1、SC-2、HFなど半導体洗浄用薬液の濃度測定	○	○		○

半導体・液晶業界向け液体成分濃度計

ケミカライザーシリーズ

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