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【液体濃度計】
■ケミカライザーシリーズ
超高性能型AceU(KP)
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配管直結型1ch(TM)
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【液体濃度計】
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多槽濃度測定・制御システム
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赤外線 応用計測装置
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インライン赤外線液体成分濃度計(チューブマウントファイバータイプ)

ケミカライザー TECH4ch TM-20-A-F-S4

特長  1 仕様 

複数薬液の高速同時測定を実現します。

ケミカライザー配管直結型TECH4ch枚葉式洗浄機のスプレ−直前のPFAチューブに測定セルを挿入し、薬液濃度測定を実施します。セル部の画期的な構造と独自の測定アルゴリズムにより、高速リアルタイム測定を実現しました。異なる薬液測定も高速に対応しリアルタイム性を向上させました。
1台で最大4つのラインの同時リアルタイム測定を可能としました。これまで測定が難しかった枚葉式洗浄機に搭載が可能となりました。

 
1
  特長
1
  1. 4ラインを同時測定
    1台の装置で薬液ラインの同時測定が可能。
  2. 1セルあたり5種類の測定が可能
    1セルあたり最大5種類までの混合薬液の測定が可能。
  3. 省スペース化
    最大4つの測定箇所を1台で対応できるため、装置の設置スペースの省スペース化が可能。
  4. リアルタイム測定
    薬液ラインに専用のPFAチューブセルを直結し、中を通る薬液の濃度を、直接測定することが可能。従って測定薬液のサンプリングが不要となり、サンプリングのためのタイムラグがなく、リアルタイム測定が可能。
  5. コンタミフリー
    薬液ラインにPFAチューブセルを直結して使用するため、コンタミフリーな測定が可能。
  6. 独自の測定アルゴリズムの採用
    クラボウ独自の測定アルゴリズムの採用により、高い流量、高い液温、泡の発生など複雑な測定環境に影響されにくい測定が可能。
 
  用途例
  • 半導体洗浄、エッチング工程での洗浄液、エッチング液の濃度測定
  • 液晶製造工程での有機剥離液、エッチング液の濃度測定
 
1
  対象薬液
1
  1. 単成分液
    フッ酸、アンモニア、塩酸、過酸化水素
  2. 混合薬液
    アンモニア−過酸化水素、塩酸−過酸化水素

   *)その他の薬液にも順次対応予定

 
  仕組みと動作イメージ

「正確に混ざっているか?」、「濃度間違いはないか?」、「レシピ間違いは?」、「弁の故障やスローリークは?」等枚葉式洗浄装置をお使いのお客様の不安や悩みをChemicAlyzer TECH 4chが解決します。薬液濃度ログ管理のほか、濃度コントロールへのフィードバックができるChemicAlyzer TECH 4chの動作イメージをわかりやすく説明しております。枚葉式洗浄装置対応の濃度モニターの導入をご検討のお客様は是非ご覧ください。


再生ボタンをクリックしてください。(BGM付きです。音量調節してからご視聴ください。)

 
  設置例

 

ケミカライザーTECH4ch設置例

 
   


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