インライン赤外線液体成分濃度計(チューブマウントファイバータイプ)

枚葉式洗浄機のスプレ−直前のPFAチューブに測定セルで挟み、薬液濃度測定を実施します。セル部の画期的な構造と独自の測定アルゴリズムにより、高速リアルタイム測定を実現しました。異なる薬液測定も瞬時に対応しリアルタイム性を向上させました。
1台で最大4つのラインの同時リアルタイム測定を可能としました。これまで測定が難しかった枚葉式洗浄機に搭載が可能となりました。

1. ４ラインを同時測定
   １台の装置で最大４つの薬液循環ラインの同時測定が可能。
2. １セルあたり５種類の測定が可能
   １セルあたり最大５種類までの混合薬液の測定が可能。
3. 省スペース化
   最大４つの測定箇所を１台で対応できるため、装置の設置スペースの省スペース化が可能。
4. リアルタイム測定
   循環ラインに直結した専用のＰＦＡチューブセルを通る液体の濃度を直接測定可能なため、測定薬液のサンプリングが不要となり、サンプリングのためのタイムラグがなく、リアルタイム測定が可能。
5. コンタミフリー
   循環ラインにＰＦＡチューブセルを直結して使用するため、コンタミフリーな測定が可能。
6. 独自の測定アルゴリズムの採用
   クラボウ独自の測定アルゴリズムの採用により、高い流量、高い液温、泡の発生など複雑な測定環境に影響されにくい測定が可能。

• 半導体洗浄、エッチング工程での洗浄液、エッチング液の濃度測定
• 液晶製造工程での有機剥離液、エッチング液の濃度測定

1. 単成分液
   フッ酸、アンモニア、塩酸、過酸化水素
2. 混合薬液
   アンモニア−過酸化水素、塩酸−過酸化水素

　　　*）その他の薬液にも順次対応予定