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業界別使用例
【液体濃度計】
■ケミカライザーシリーズ
超高性能型AceU(KP)
標準型Pro-2(KIS)
ハイブリッド型(HB)
配管直結型1ch(TM)
配管直結型4ch(TM)
防爆型(PF)
ワゴン型ケミカライザーU
多槽濃度測定・制御システム
C-WORKS
【液体濃度計】
■ウォ−ターライザーシリーズ
廉価・耐環境型濃度計
Waterlyzer(RD)
多槽濃度測定・制御システム
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赤外線 応用計測装置
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インライン赤外線液体成分濃度計(チューブマウントファイバータイプ)

ケミカライザー TECH 1ch TM-20-A-F/T

特長  1 仕様 

高い応答性でリアルタイムでの薬液濃度管理を実現します。

ケミカライザー配管直結型光学系に光ファイバーを用いることにより薬液の循環ラインに専用のPFAチューブセルを直結させ、配管の外側から内部の液体に直接光を当てることで、応答性の高い測定を可能にしました。
さらに、クラボウ独自の測定アルゴリズムの採用により、高流量、高温、泡の発生といった複雑な測定環境でも安定した高精度な測定を実現できます。
これにより、リアルタイムでの薬液濃度測定が可能となるため、薬液濃度管理のさらなる適正化につなげることができます。

 
1
  特長
1
  1. 直接測定
    循環ラインに直結した専用のPFAチューブセルを通る薬液濃度の直接測定が可能。
  2. 高速応答測定
    測定薬液のサンプリングが不要で、サンプリングのためのタイムラグがなく、応答性の高い測定が可能。
  3. コンタミフリー
    循環ライン(PFAチューブ)をセルとして使用するため、コンタミフリーな測定が可能。
  4. 独自の測定アルゴリズムの採用
    クラボウ独自の測定アルゴリズムの採用により、高い流量、高い液温、泡の発生など複雑な測定環境に影響されにくい測定が可能。
 
  用途例
  • 半導体洗浄、エッチング工程での洗浄液、エッチング液の濃度測定
  • 液晶製造工程での有機剥離液、エッチング液の濃度測定
 
1
  対象薬液
1
  1. 単成分液
    燐酸、フッ酸、アンモニア、塩酸、過酸化水素
  2. 混合薬液
    アンモニア−過酸化水素、塩酸−過酸化水素
  3. 有機剥離液
    MEA−DMSO、MEA−BDG

   *)その他の薬液にも順次対応予定

 
  設置例

 

ケミカライザー配管直結型設置例

 
   


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