インライン赤外線液体成分濃度計(チューブマウントファイバータイプ)

光学系に光ファイバーを用いることにより薬液の循環ラインに専用のPFAチューブセルを直結させ、配管の外側から内部の液体に直接光を当てることで、応答性の高い測定を可能にしました。
さらに、クラボウ独自の測定アルゴリズムの採用により、高流量、高温、泡の発生といった複雑な測定環境でも安定した高精度な測定を実現できます。
これにより、リアルタイムでの薬液濃度測定が可能となるため、薬液濃度管理のさらなる適正化につなげることができます。

1. 直接測定
   循環ラインに直結した専用のＰＦＡチューブセルを通る薬液濃度の直接測定が可能。
2. 高速応答測定
   測定薬液のサンプリングが不要で、サンプリングのためのタイムラグがなく、応答性の高い測定が可能。
3. コンタミフリー
   循環ライン（ＰＦＡチューブ）をセルとして使用するため、コンタミフリーな測定が可能。
4. 独自の測定アルゴリズムの採用
   クラボウ独自の測定アルゴリズムの採用により、高い流量、高い液温、泡の発生など複雑な測定環境に影響されにくい測定が可能。

• 半導体洗浄、エッチング工程での洗浄液、エッチング液の濃度測定
• 液晶製造工程での有機剥離液、エッチング液の濃度測定

1. 単成分液
   燐酸、フッ酸、アンモニア、塩酸、過酸化水素
2. 混合薬液
   アンモニア−過酸化水素、塩酸−過酸化水素
3. 有機剥離液
   MEA−DMSO、MEA−BDG

　　　*）その他の薬液にも順次対応予定