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インライン多槽濃度測定・制御システム
ケミカライザー C-WORKS
Waterlyzer W-WORKS |
特長 
仕様 |
１台で多槽の濃度測定・制御が可能な濃度計システムです。 |
| 測定対象に最適な濃度計、パネルコンピュータ、ポンプ、バルブといった測定に必要な部品をラック内にまとめました。
多槽濃度測定、データ収集、トレンド表示、薬液供給機能などニーズに応じた機能を持たすことが可能です。
コストパフォーマンスの高い簡易システムから高精度、高機能なシステムまでニーズに応じたバリエーションが可能です。 |
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用途例 |
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- 半導体製造工程における洗浄プロセスでのSC-1,SC-2、SPMなどのウェハー洗浄液濃度
- 半導体製造工程におけるエッチングプロセスでのフッ酸、燐酸、ＨＰＭ、ＢＨＦなどの薬液濃度
- ウェハー製造工程におけるアルカリ、活性剤などのエッチング液濃度
- 半導体・液晶パネル製造工程における燐硝酸酢酸、フッ硝酸酢酸等のエッチング液濃度
- 液晶パネル製造工程におけるMEA、BDG、DMSO、等の剥離液濃度測定、薬液供給
- その他各種酸、アルカリ、過酸化水素、有機溶剤、水分などの濃度測定
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装置外観例 |
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ワゴンタイプ |
組込みタイプ |
*システム構成によって装置外観は異なります。 |
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