サンプルに赤外線を照射すると、膜厚に応じた特定波長の赤外線吸収現象が生じます。この吸収量を透過光または鏡面金属板での正反射光から捉え、あらかじめ求めておいた吸光度と膜厚の関係式から、膜厚を測定できます。
また、当社独自のP偏光入射方式を採用。表面反射や内部多重反射による誤差を無くし、赤外線膜厚計にとって理想的なハードウェアを提供しています。