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红外线液体成分浓度计
这是适合用于半导体和液晶制造工序的清洗液、浸蚀液、抗蚀剥离液的浓度管理的Chemicalyzer系列产品的网页。
这是在红外线应用计测领域赢得极大信赖的仓敷纺织公司，运用多年的业绩和最新光电技术开发出的液体成分浓度计。
该设备除了利用红外线实现了联机连续测定外，还通过液体专用设计的丰富光量实现了高稳定性，通过本公司独特的测定算法扩大了应用范围等等。这些都给工序的浓度测定提供了很大的潜能。
Chemicalyzer系列
最适合用于半导体和液晶制造工序的清洗液、浸蚀液、抗蚀剥离液的浓度管理！
值得信赖的畅销产品——红外线液体成分浓度计Chemicalyzer系列
Chemicalyzer系列的三大特点
- 根据待测药液采用最佳光线来测定浓度。
- 实现了非破坏、连续、高速、高精度的浓度测定。
- 产品种类丰富，灵敏度高，使生产工序实现了最佳化。
测定原理图
因为是采用光线来测定的，所以无需对样品进行任何预处理。
并且还可以进行非接触测定和瞬时测定。
用途一览表
| 待测药液 | 适用药液类别 |
|---|---|
| 各种清洗液 | SC-1,SC-2,SPM,IPA, 稀薄SC-2 |
| 浸蚀液 | HF,H3PO4,BHF,HF-HNO3, HF-HNO3-CH3COOH HF-HNO-Si,HF-HNO3-CH3COOH-Si |
| CMP液 | CMP中H2O2,CMT中BTA |
| 液晶浸蚀液 | H3PO4-HNO3-CH3COOH, 铜-H2O2-酸 |
| 高浓度碱液 | NaOH,KOH,KOH-活性剂 |
| 有机剥离液 | MEA-BDG-水分-抗蚀剂 |
| 臭氧处理液 | HF-臭氧,H2SO4-臭氧 |
类别一览表
| 利用形式 | 适用产品名称 |
|---|---|
| 联机型 | ChemicAlyzer ACEⅡ （超高性能型） ChemicAlyzer Pro-2 （标准型） |
| 脱机手推车型 | ChemicAlyzerⅡ |
| 多槽测定控制型 | ChemicAlyzer WORKS |
| 混合型 | ChemicAlyzer HB-20-A |
基本规格
| 项目 | ＡＣＥⅡ | Pro-2 | ChemicAlyzerⅡ | WORKS | HB-20 |
|---|---|---|---|---|---|
| 基本构成 | 测定部分・ 数据处理部分 |
一体型 | 測定部・ 平板电脑架 |
測定部・ 数据处理部分 |
|
| 显示 | 7波段显示器 | LCD | 7波段显示器 | ||
| 按键操作 | 有 | 触控面板 | 有 | ||
| 外部输入输出 | PI/O、串行输出、模拟输出 | 选项 | PI/O、串行输出、模拟输出 | ||
| 特点 | 高性能 | 标准性能 | 多条检量线 | 多槽测定控制 | 混合型高性能 |
| 其他 | 内置阀门 | 内置泵和阀门 | 内置泵和阀门 | 内置阀门 | |
