ニュースリリース

1998年

1998年07月24日

半導体、液晶業界向けインライン型薬液濃度センサー
『ケミカライザー®・スター』の開発、販売開始について

 

クラボウ(資本金・220億円・、本社・大阪市中央区、社長・真銅孝三)化成品事業部は、薬液濃度センサー『ケミカライザー®・スター』を開発し本年9月より半導体と液晶関連業界に販売を開始します。
 
薬液濃度センサー『ケミカライザー®・スター』は、当社が既に販売している薬液濃度測定装置『ケミカライザー®シリーズ』と同様、近赤外線を用いた光学式測定機で半導体洗浄機やエッチング装置にセットして使用されます。小型で安価、簡単操作の特長の他、耐蝕、長寿命を実現した商品で、装置に組み込んで濃度監視に広く使用することを可能にしました。
  
測定対象薬液は、アンモニアと過酸化水素水の混合薬液です。このほか、半導体で使用する主要薬液についても順次拡充する予定です。
  
  
1.開発の経緯
  
化成品事業部は、半導体と液晶関連業界向けに、フッ素樹脂をベースにしたフィルターや継手等の部品類の製造販売、自動薬液供給装置の設計・製造・販売、薬液濃度測定装置の製造販売を行っています。
薬液濃度測定装置『ケミカライザー®』は、他の測定機では困難であった過酸化水素水など気泡の発生する混合薬液の濃度をリアルタイムに測定できる装置として、半導体や液晶関連業界で広く採用され好評を博しています。
現在、1台で数種類の薬液を選択して測定できるワゴン型『ケミカライザー®II』の他、洗浄機やエッチング装置へ組込んで使用されるインライン型濃度測定装置『ケミカライザー®・プロ』、次世代対応の高精度型『ケミカライザー®・エース』の3種類の濃度測定装置を販売しています。
今後、半導体製造の無人化に伴ない濃度管理にも、センサーの開発が強く要望されています。
『ケミカライザー®・スター』は、センサーとして洗浄機の中に組込まれて使用されるため、薬液系、光学系、電気系の見直しを行い、分光部とデーター処理部を防水・耐蝕一体化構造として大幅な小型化と低価格化および長寿命化を実現した商品です。
   
  
2.主な仕様
(1)測定原理:近赤外線による吸光度測定法

(2)対象薬液:アンモニア+過酸化水素水の混合液

(3)再現精度:0.05wt%

(4)保証精度:±0.5wt%

(5)サンプリング方式:循環ラインより配管(電磁弁内蔵)

(6)冷却方式:簡易冷却器内蔵

(7)ブランク校正:自動校正(純水ライン不要:特許出願)

(8)測定モード:外部制御(連続測定、1回測定モード切替可能)

(9)最小測定間:20秒以内(薬液吸引時間を除く)

(10)光源:15Wタングステンランプ;寿命2年

(11)表示:電源LED、警報LED(液漏れ、装置異常、ランプ切れ)、状態LED

(12)電源:DC24V±10% 30W

(13)外部入出:アナログ出力(4~20mA)、接点入出力

(14)寸法・重量:外形176W×265D×162H(mm)約6.5Kg

(15)接液部材質:PFA、PTFE、高純度石英(リターン可能)

(16)安全対策:サンプリング部と電気系部の完全分離密閉構造。
         電気系の防塵、防滴構造 。
         外装の耐蝕加工(PFAコーティング処理)。
         液漏れセンサー内蔵。
         セル耐圧0.2MPA保証CEマーク適合(EMC指令)。
  
  
3.特徴
(1)アンモニアと過酸化水素水の濃度をリアルタイムに測定できます。
(2)サンプルの多少の濁りや泡、温度変動に影響されずに測定できます。
(3)データー処理部と分光部を一体化して、B5サイズのコンパクト化を図っています。
(4)電気部とサンプリング部を密閉構造にし、更に外装をPFAコーティングしていますのでシャワー洗浄が可能です。
(5)少ない消耗品で、2年以上の寿命があります。
(6)自己診断及び自動校正機能がついていますので、装置チェックが簡単です。
(7)洗浄機のホストコンピューターから制御が可能です。
(8)液漏れセンサーを内蔵した安全設計です。
(9)CEマーク(EMC指令)に適合しています。
    
   
4.効果
(1)洗浄効果および歩留りの向上
(2)薬液交換時期の適正な判断と薬液追加による薬液寿命の延長
(3)廃液量の減少
(4)処理条件のチェック(最適な条件出し)
    
   
5.発売時期
(1)アンモニア+過酸化水素水濃度センサー:平成10年9月
(2)フッ化水素水他、半導体主要薬液用濃度センサー:平成10年12月
     
    
     
6.商品名(型式)
ケミカライザー(R)・スター(ST-21型:アンモニア+過酸化水素水用)
      
7.価格  2,800千円/台


8.初年度販売予定台数  100台/年


9.問い合わせ先
  〒541-8581 大阪市中央区久太郎町2-4-31
  ク ラ ボ ウ 化成品事業部 機能樹脂製品部 精密製品課
  TEL (06)266-5461 FAX (06)266-5442 (担当 石本)
  インターネットホームページ http://www.fine-chem.kurabo.co.jp
  E-mail seimitsu@fine-chem.kurabo.co.jp
   
以 上



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