红外线液体成分浓度计

Chemicalyzer系列


Chemicalyzer系列根据利用场景和待测药液,汇集了丰富齐全的产品种类


联机型

可以对制造半导体和液晶电视中经常使用的清洗液和浸蚀液进行高精度高速测定。

ChemicAlyzer ACEII (超高性能型)

增添了很多新技术,与本公司以往的机型相比,精度更上一层楼。最适合用于要求更高一级测定精度的场合。

ChemicAlyzer Pro-2 (标准型)

虽然采用了数据处理部分与测定部分合为一体的小型化设计,但是也具有键盘和显示功能。



待测药液 适用药液类别
各种清洗液 SC-1,SC-2,SPM,IPA
浸蚀液 HF,H3PO4,BHF,HF-HNO3, HF-HNO3-CH3COOH
CMP液 CMP中H2O2,CMT中BTA
液晶浸蚀液 H3PO4-HNO3-CH3COOH


脱机手推车型

ChemicAlyzerII

最适合于由脱机测定各种处理工序的药液浓度变化的场合。除了心脏部分的Chemicalyzer之外,还内置了泵、阀门,因此,可以只需将管子插入槽内即可测定。此外,1台设备还可以测定多种药液。


待测药液 适用药液类别
各种清洗液 SC-1,SC-2,SPM,IPA
浸蚀液 HF,H3PO4,BHF,HF-HNO3, HF-HNO3-CH3COOH
液晶浸蚀液 H3PO4-HNO3-CH3COOH
高浓度碱液 NaOH,KOH,KOH-活性剂


多槽测定控制型

ChemicAlyzer WORKS

1台设备可以连续、间歇地测定多个槽里的药液浓度。
除了对待测药液最符合的Chemicalyzer之外,还内置了泵、阀门、数据处理电脑,可以一边切换多个槽一边自动测定。还可以控制浓度。


待测药液 适用药液类别
各种清洗液 SC-1,SC-2,SPM,IPA
浸蚀液 HF,H3PO4,BHF,HF-HNO3, HF-HNO3-CH3COOH
有机剥离液 MEA-BDG-水分-抗蚀剂
液晶浸蚀液 H3PO4-HNO3-CH3COOH
高浓度碱液 NaOH,KOH,KOH-活性剂


混合型

ChemicAlyzer HB-20-A

可以用1台设备进行红外光加可见光、红外光加紫外光的组合测定。
据此,就可以在保持高精度测定的同时,应对范围广泛的待测药液。


待测药液 适用药液类别
各种清洗液 希薄SC-2
浸蚀液 HF-HNO-Si,,HF-HNO3-CH3COOH-Si
液晶浸蚀液 铜-H2O2-酸
有机剥离液 MEA-BDG-水分-抗蚀剂
臭氧处理液 HF-臭氧,H2SO4-臭氧