红外线液体成分浓度计


这是适合用于半导体和液晶制造工序的清洗液、浸蚀液、抗蚀剥离液的浓度管理的Chemicalyzer系列产品的网页。
这是在红外线应用计测领域赢得极大信赖的仓敷纺织公司,运用多年的业绩和最新光电技术开发出的液体成分浓度计。
该设备除了利用红外线实现了联机连续测定外,还通过液体专用设计的丰富光量实现了高稳定性,通过本公司独特的测定算法扩大了应用范围等等。这些都给工序的浓度测定提供了很大的潜能。


Chemicalyzer系列

最适合用于半导体和液晶制造工序的清洗液、浸蚀液、抗蚀剥离液的浓度管理!
值得信赖的畅销产品——红外线液体成分浓度计Chemicalyzer系列


Chemicalyzer系列的三大特点

  1. 根据待测药液采用最佳光线来测定浓度。
  2. 实现了非破坏、连续、高速、高精度的浓度测定。
  3. 产品种类丰富,灵敏度高,使生产工序实现了最佳化。

测定原理图

因为是采用光线来测定的,所以无需对样品进行任何预处理。
并且还可以进行非接触测定和瞬时测定。

用途一览表

待测药液 适用药液类别
各种清洗液 SC-1,SC-2,SPM,IPA, 稀薄SC-2
浸蚀液 HF,H3PO4,BHF,HF-HNO3, HF-HNO3-CH3COOH
HF-HNO-Si,HF-HNO3-CH3COOH-Si
CMP液 CMP中H2O2,CMT中BTA
液晶浸蚀液 H3PO4-HNO3-CH3COOH, 铜-H2O2-酸
高浓度碱液 NaOH,KOH,KOH-活性剂
有机剥离液 MEA-BDG-水分-抗蚀剂
臭氧处理液 HF-臭氧,H2SO4-臭氧

类别一览表

利用形式 适用产品名称
联机型 ChemicAlyzer ACEⅡ (超高性能型)
ChemicAlyzer Pro-2 (标准型)
脱机手推车型 ChemicAlyzerⅡ
多槽测定控制型 ChemicAlyzer  WORKS
混合型 ChemicAlyzer  HB-20-A

基本规格

项目 ACEⅡ Pro-2 ChemicAlyzerⅡ WORKS HB-20
基本构成 测定部分・
数据处理部分
一体型

測定部・

平板电脑架

測定部・

数据处理部分
显示 7波段显示器 LCD 7波段显示器
按键操作 触控面板
外部输入输出 PI/O、串行输出、模拟输出 选项 PI/O、串行输出、模拟输出
特点 高性能 标准性能 多条检量线 多槽测定控制 混合型高性能
其他 内置阀门 内置泵和阀门 内置泵和阀门 内置阀门