知识屋

3.关于红外线膜厚计

3-2.各种膜厚计

除红外线方式外,在市场上也有很多其他测量方式的膜厚计和测厚仪。
例如、

  • 放射线方式(β线、γ线、χ线、荧光χ线等)
  • 光干涉方式
  • 激光方式
  • 电容方式
  • 微波方式
  • 接触方式

等。并且即使同样的红外线测厚仪,不采用在这里所说的预先固定波长(干涉滤波器方式),而用全波长光谱方式,最近用红外光照射,通过解析从测量对象返回热波的相位差来分析膜厚度的光热(photo thermo)测量方式也出现了。

理想的测厚仪只对被测物有反应,上面列举的各种测量方式根据测量对象的材质和层构成、测量范围、要求精度、设置环境和价格等各有长短。因此选择适合测量对象和测量目的的测厚仪和适应法最为重要。

在这里主要就最一般且实际成果多的干涉滤波器方式红外线测厚仪的原理和用途进行说明。




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