知识屋

3.关于红外线膜厚计

3-4.红外线膜厚计的测量原理

3-4-2.装置的构成

那么3-4-1讲述的吸光度在实际装置是用怎样的方法测量的呢?

图7表示一般的线上红外线测厚仪(水分计)的传感器头。由光源照射的红外光透过干涉滤波器,选择波长。以约20~50Hz的速度转动的圆盘上装有干涉滤波器,测量波长和比较波长交替通过反射镜照射测量物。被测量对象物反射具有膜厚和成分的信息光通过聚光镜高效率收集,通过红外检测器转换为电信号。此后,该电信号在数据处理部用各种运算法则演算,向外部输出膜厚值。


图7 一般的线上红外线测厚仪


<<上一页 3-4-2. 装置的构成 下一页>>