知识屋

3.关于红外线膜厚计

3-4.红外线膜厚计的测量原理

3-4-3.传感器的种类

精确测量膜厚度的重要事项是,如何有效地收集由测量对象产生的具有膜厚度信息的光。

图8表示金属涂层上各种光的概念。在此具有膜厚度信息的光在金属板(基材)反射,形成正反射光和四处扩散的反射光。下方为镜面时,正反射光变多,粗糙面时扩散反射光变多。因此重要的是避开误差主要原因的表面反射光和内部多重反射光,高效捕捉具有信息的正反射光或扩散反射光。为此根据测量对象物表面形状和基材分别使用各种方式的红外线式测厚仪。并且,红外线测量机器的设计自由度高,按照各公司独自的设计构想制作多种机器投放市场。


图8 具有信息的光


在这里试将红外线测厚仪分为3种。

扩散反射式(主要用于纸、布、不透明膜、粗糙面金属上的涂层量等,参照图4)
测量透明膜等透明被测物的膜厚时,通过在被测物的对侧设置反射板就可以进行测量。扩散反射式红外线测厚仪可以说是通过加工设置能够适应广范围用途的机种。可是,因扩散反射式捕捉的是微弱光,因此虽能适应范围广,但通常分辨率较差。

透射式(主要用于透明膜和透明膜上的涂布量等,参照图9)

图9 一般的透射式红外线测厚仪

正反射式(主要用于金属上的涂布量等,参照右图8)

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