半導体メーカでは、エッチングやウェハー洗浄工程などに高純度の薬液を使用しており、薬液の用途・使用量に応じてタンク供給やコンパクトなキャニスター供給を御提案します。
連続稼働の生産工場に対応したシステムを御提案します。
薬液供給装置トップへ