ハカルで未来を創る
ChemicAlyzerは光の吸収原理を応用した、インライン設計による連続測定を実現した液体成分用濃度計です。赤外式液体成分濃度計のパイオニアとして事業を開始した1990年以降、豊富なノウハウと技術を武器に、進化し続ける半導体デバイスの製造プロセスにおいて、“計測ニーズに呼応”することで品質や薬液濃度管理を支えてきました。
これからも最先端プロセスや特殊薬液にフレキシブルに対応し、高精度な薬液濃度測定を通して、 “さらに一歩先の計測ニーズに呼応”することで製造プロセスの最適化に貢献し続けていきます。
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高品質
測定対象ごとに最適な波長を選定し、装置1台ごとに検量線を作成します。
検査試験を合格した、機差の少ない安定した製品を提供します。 -
高性能
ChemicAlyzerは、応答性と分解能に優れる高性能な濃度計です。
分解の激しい成分の僅かな変化も逃すことない濃度制御が可能になります。 -
高耐久性
長期的なランニングコスト削減に貢献します。
10年以上サポートを継続し、お使いいただいている実績があります。
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ウエハー製造工程
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半導体製造工程
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液晶パネル製造工程
基板製造工程
水晶振動子製造工程
- ・レジスト剥離液の濃度管理
- ・リサイクル薬液の濃度管理
- ・後工程用薬液の濃度管理
- ・酸アルカリ系洗浄液の濃度管理
- ・酸化膜・窒化膜エッチング液の濃度管理
- ・その他特殊薬液の濃度管理
ほかにも、電池材料製造工程や日本酒・食酢の発酵度測定など幅広い業界で採用されています。
高性能な計測技術が評価され、国内や東アジア、アメリカで3,000台以上の実績があります！
基本仕様
| 測定方式 | 近赤外線透過分光方式 |
|---|---|
| 最小測定時間 | 2秒 |
| 測定値出力 | DC4-20mA |
| 入力信号 | トランジスタ電流駆動入力（測定、校正、暖機終了ほか） |
| 出力信号 | オープンコレクタ出力（READY、BUSY、装置異常、測定中、成功、上下限警報ほか） |
| 接液部材質 | 石英セル仕様：PFA、PTFE、⽯英（セル）、パーフロ（Ｏリング） サファイアセル仕様：PFA、PTFE、サファイア（セル）、カルレッツ（O リング） |
| 使用最高圧力 | 0.2MPa |
| 配管口径 | IN：Φ3 × Φ2 OUT：Φ4 × Φ3(mm）チューブ各1m付属 |
薬液一覧表
| 主な用途 | 成分1 | 成分2 | 成分3 | 備考 | 通称 | 高精度 型推奨 |
要特殊 波長対応 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 半導体 | NH3 | H2O2 | APM、SC1 | ||||
| HF | |||||||
| HF | 希薄 | DHF | ○ | ○ | |||
| H2SO4 | H2O2 | SPM | |||||
| HF | H2O2 | FPM | |||||
| HF | H2O2 | 希薄 | FPM | ○ | ○ | ||
| HF | HCl | ○ | ○ | ||||
| HF | H2SiF6 | ○ | |||||
| HCI | H2O2 | HPM、SC2 | ○ | ||||
| KOH | H2O2 | ||||||
| NaOH | H2O2 | ||||||
| H3PO4 | |||||||
| HF | NH4F | ○ | |||||
| HF | HNO3 | ○ | |||||
| HF | H2O2 | CH3COOH | ◎ | ||||
| 液晶 | TMAH | 現像液 | |||||
| H3PO4 | HNO3 | CH3COOH | エッチング | ◎ | |||
| H2SO4 | H2O2 | Cu | エッチング | ◎ | ○ | ||
| H2O | アミン | 溶剤 | レジスト剥離 | ◎ | ○ | ||
| その他 | IPA | ||||||
| H2O | 有機溶剤中 微量水分 |
○ | |||||
| CH3COOH | C2H5OH | 食酢 | ○ | ||||
| C2H5OH | グルコース | 日本酒 | ○ | ○ |
※光学式を採用しており、光が透過しない不透明な薬液の測定は対応できません。
その他薬液にも対応可能ですので、お気軽にお問い合わせください。
